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全自动晶圆表面贴膜机

MTS-1211

铭沣全自动晶圆贴膜机可实现全自动贴膜工艺，适用范围广，贴合精度高，在晶圆研磨、抛光、划片、贴片等工序中可靠地保护芯片表面的电路



铭沣为客户提供智能仓储解决方案，具备高效存取、防错降耗、系统化数据监测、追溯管控、智能库存管理等优势

功能特点
· 支持4、5、6、8、12英寸晶圆
· 高精度切膜
· 自研寻边系统
· 断刀保护功能
· MAPPING功能

· 缓解膜形变、降低张力

· 可靠稳定，高效节能

· 整机操作便捷，易维护

· 支持MES在线互联

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